晶圆级检测
ZAN-X 2000
高级晶圆 AOI
ZANX 2000 系统是一个高级晶圆自动检测系统，旨在对裸晶圆和薄膜框架晶圆的微观和宏观表面缺陷进行高分辨率检测。
|
裸晶圆(6 英寸、8 英寸、12 英寸) 晶圆厚度: 100 微米 ~ 1000 微米 薄膜框架晶圆(6 英寸、8 英寸、12 英寸) | |||||||||||||||||||
| FOUP/FOSB、开放式晶圆盒、金属晶圆盒 | |||||||||||||||||||
|
高级晶圆 AOI
ZANX 2000 系统是一个高级晶圆自动检测系统，旨在对裸晶圆和薄膜框架晶圆的微观和宏观表面缺陷进行高分辨率检测。
|
裸晶圆(6 英寸、8 英寸、12 英寸) 晶圆厚度: 100 微米 ~ 1000 微米 薄膜框架晶圆(6 英寸、8 英寸、12 英寸) | |||||||||||||||||||
| FOUP/FOSB、开放式晶圆盒、金属晶圆盒 | |||||||||||||||||||
|